Предзаказ
Система PECVD (система химического осаждения из паровой фазы с улучшенной плазмой) состоит из четырех модулей: трубчатой печи, сбора вакуума, управления потоком и радиочастотного источника питания. Это оборудование использует радиочастотный выход 13,56 МГц для ионизации газа, содержащего составляющие пленки атомы, и формирования плазмы, используя высокую химическую активность плазмы, улучшает условия реакции и заставляет газообразные вещества, содержащие тонкие пленки, вступать в химическую реакцию, чтобы реализовать новую технологию подготовки для выращивания тонкопленочных материалов и, наконец, получить желаемую тонкую пленку, нанесенную на подложку, которая подходит для нанесения пленок SiO2 и SiNx при температуре 1200 ° C.
Описание
1. Система трубчатой печи CVD состоит из трубчатой печи, системы сбора вакуума, управления потоком и радиочастотного источника питания
2. В трубчатой печи можно выбирать трубы разного диаметра и длину зоны постоянной температуры, а два конца трубы оснащены высоковакуумными уплотнительными фланцами из нержавеющей стали;
3. Система сбора вакуума может выбирать различные вакуумные насосы в соответствии с требованиями к испытаниям. Степень разрежения механического вакуумного насоса с вращающимися лопастями составляет ≤5па, а степень разрежения вакуумной установки молекулярного насоса составляет 1 × 10-4 па;
4. В качестве системы подачи воздуха можно выбрать трехходовую ручную поплавковую и трехходовую автоматическую систему массового расхода
5. Измерение вакуума осуществляется с помощью цифрового композитного вакуумметра или вакуумметра Pirani
6. Выберите источник питания оборудования с частотой 13,56 МГц для плазменного разряда, а выходную мощность можно выбрать 200 Вт, 300 Вт и 500 Вт
7. Трубчатая печь может выбирать одну температурную зону 440 мм или три температурные зоны или несколько температурных зон для испытания на температурный градиент
8. Встроенный порт цифровой связи RS485 и USB-адаптер термостата являются дополнительными конфигурациями, которые можно подключить к ПК для дистанционного управления и мониторинга системы, а также для сохранения или экспорта результатов тестирования.
9. Продукт соответствует стандарту ЕС CE.
Функция вакуумной атмосферы
С уплотнительным фланцем из нержавеющей стали 304 для создания вакуума или атмосферы в трубе печи
Рабочая трубка из высококачественного кварцевого стекла, а также металлическая или корундовая рабочая трубка также могут быть выбраны для адаптации к различным условиям работы
Высокопроизводительный биполярный роторно-лопастной вакуумный насос обеспечивает разрежение 5па, а цифровой вакуумметр может отображать степень разрежения
Благодаря блоку управления воздушным контуром блок управления может выбирать 1-3 способа автоматического управления MFC
Отзывы
Отзывов еще никто не оставлял
