Предзаказ
Химическое осаждение в трубчатой печи при температуре 1200 ° C из паровой фазы (CVD) относится к методу химической реакции газа или пара на поверхности подложки с целью синтеза покрытий или
наноматериалов. Это наиболее широко используемая технология в полупроводниковой промышленности для нанесения различных материалов, включая широкий спектр изоляционных материалов,
большинство металлических материалов и сплавов металлов.
Описание
Корпус печи
Корпус изготовлен из низкоуглеродистой стали Q235, а поверхность электростатически устойчива и устойчива к коррозии.
Прочный двухслойный металлический каркас сочетается с теплоизоляционной конструкцией вентилятора, а температура поверхности печи низкая
Горизонтальный режим использования, конструкция с верхним отверстием, простота в эксплуатации
Огнеупорный материал
Многослойная конструкция изоляции, состоящая из легкого глиноземистого керамического волокна и высококачественной изоляционной плиты, не содержит асбестовых компонентов, обеспечивает низкие теплопотери и низкое энергопотребление
Система отопления
Высококачественный нагревательный элемент из спиральной проволоки с сопротивлением HRE надежно и прочно встроен в поверхность печи и нагревается за счет свободного теплового излучения в полости печи, что является энергосберегающим и эффективным, а также имеет длительный срок службы
Нагрев кольца резистивной проволокой для достижения хорошей однородности в печи
Панель контроля температуры
Режим управления PID и SSR, точный контроль температуры
Никель-хром-кремниевая термопара N-типа, стандартизированная на международном уровне, с диапазоном измерения температуры 0-1300 ℃ и длительным сроком службы
Дверца печи оснащена предохранительным выключателем при открывании дверцы
Программный контроллер
Усовершенствованные контроллеры, отвечающие сложным технологическим требованиям
Простое и прямое управление, гибкое программирование
Программируемые 30 программных сегментов для одной кривой
Сигнализация о перегреве и неисправностях, автоматическая защита безопасности
Функция вакуумирования атмосферы
С уплотнительным фланцем из нержавеющей стали 304 для создания вакуума или атмосферы в трубе печи
Рабочая трубка из высококачественного кварцевого стекла, а также металлическая или корундовая рабочая трубка также могут быть выбраны для адаптации к различным условиям работы
Высокопроизводительный биполярный роторно-лопастной вакуумный насос может обеспечивать степень разрежения 5па, а цифровой вакуумметр может отображать степень разрежения
С блоком управления воздушным контуром блок управления может выбирать 1-3 способа автоматической системы управления MFC
Отзывы
Отзывов еще никто не оставлял
